超高精度车床直线运动误差检测与补偿系统的理论与实验研究
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A Research on the Measurement and Compensation of the Straightline Error Motion of an Ultra Precision Lathe
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    摘要:

    本文介绍了用三传感器误差分离法在线检测超高精度车床拖板直线运动误差和加工工件的素线直度误差。检测系统的精度高达士0.078μm。 在此基础上,通过微计算机对误差数据进行数学处理,并驱动伺服机构对工件素线直度误差进行补偿加工。结果使工件素线直度精度提高到0.5μm/160mm,比补偿前的精度提高了50%以上。

    Abstract:

    This paper discusses the 3-point error separating technique for on-line measurement of straight line error motion of an ultra-precision lathe and straightness of the generatrix of turned works. The accuracy of the measuring system is obtained about 土0.078μm (土3σ). Furthermore,a closed loop,micro-computer control system is built up to process the error data and excite a servo-mechanism for Compen sating the error motion,and the straightness of the turned work is increased to 0.5μm/160mm,that is,Compensating increases straightness by 50%,at least than before compensating.

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引用本文

王浩藩,潘仲明,梁建成.超高精度车床直线运动误差检测与补偿系统的理论与实验研究. A Research on the Measurement and Compensation of the Straightline Error Motion of an Ultra Precision Lathe[J].国防科技大学学报,1987,(4):1-10.

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  • 收稿日期:1986-12-12
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  • 在线发布日期: 2017-08-18
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