| 引用本文: | 王世民,梁建成.超精密加工在线检测与误差补偿的理论与方法.[J].国防科技大学学报,1994,16(2):8-14.[点击复制] |
| Wang Shimin,Liang Jiancheng.Theory and Methods of On-line Measurement and Error Compensation of Ultraprecision Machining[J].Journal of National University of Defense Technology,1994,16(2):8-14[点击复制] |
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| 超精密加工在线检测与误差补偿的理论与方法 |
| 王世民, 梁建成 |
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(国防科技大学 机械电子工程与仪器系 湖南 长沙 410073)
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| 摘要: |
| 超精密加工技术是高新技术、现代机械、电子产业以及国防工业的重要支柱，已成为技术发达国家重要的竞争目标。我系自 1982 年以来开展超精密加工技术的研究已有十多个年头了，取得了重要进展和重大突破。本文就所进行的研究工作，综合介绍了超精密加工中的若干理论与方法，包括形状误差在线检测的误差分离、误差补偿控制、微进给机构的非线性建模、微位移检测等内容，最后介绍了我系所取得的主要成果。 |
| 关键词: 超精密加工 在线检测 误差分离 补偿控制 |
| DOI： |
| 投稿日期：1993-09-25 |
| 基金项目: |
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| Theory and Methods of On-line Measurement and Error Compensation of Ultraprecision Machining |
| Wang Shimin, Liang Jiancheng |
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(The Department of Mechantronics and Instrumentation，NUDT，Changsha，410073)
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| Abstract: |
| Some theory and methods in ultraprecision machining are presented. Error separation and error compensatory control of roundness，straightness and cylindricity are included. And nonlinear modeling of micro-driven equipment and micro-displacement measurement are also comprised. Finally some main achievements in scientific research are briefly introduced. |
| Keywords: ultraprecision machining on-line measurement error separation compensatory control |
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